Pfeiffer Vacuum stellt Vakuummessgeräte für die rauen Einsatzbedingungen in der Halbleiterindustrie vor.
Die CenterLine CNR Baureihe besteht aus analogen kapazitiven Vakuummessgeräten, die über vier Dekaden im vollen Messbereich zwischen 0,1 und 1.000 Torr messen können. Die in beheizten und unbeheizten Varianten erhältliche CNR Baureihe ergänzt die bestehende CenterLine Produktfamilie und liefert zuverlässige Messungen auch unter härtesten Einsatzbedingungen. Wie die anderen CenterLine Messgeräte bietet auch die CNR Baureihe ein optimales Preis-Leistungs-Verhältnis und lässt sich einfach in bestehende Installationen mit Messtechnologien anderer Hersteller integrieren.
CNR Messgeräte werden im Idealfall in Kombination mit Druckregulierventilen verwendet und können für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie, wie Trockenätzen, CVD- oder ALD-Prozesse, eingesetzt werden. Sie können zudem auch in der Analytik, in F&E sowie in zahlreichen anderen Branchen genutzt werden. Bei dieser Erweiterung der Produktfamilie stehen fünf verschiedene Ausführungen zur Verfügung: 36x, 37x, 38x, 39x und 30x. Alle Produkte der Baureihe entsprechen dem SEMI S2 Standard.
Für Prozesse bei jeder Temperatur
Die CenterLine CNR Baureihe bietet eine Vielzahl von Optionen für Prozesse mit unterschiedlichsten Temperaturen. 36x ist eine unbeheizte Variante für zuverlässige Messungen bei Umgebungstemperatur mit einer Genauigkeit von 0,2 %. Für Temperaturen von 45, 100, 160 und 200 °C sind außerdem temperaturgeregelte Varianten verfügbar. Die 45 °C-Variante bietet eine Genauigkeit von 0,15 % und eignet sich somit hervorragend für Kalibrierlabore und strenge Qualitätskontrollen. Die anderen temperaturgeregelten Varianten bieten mit 0,4 % eine höhere Messgenauigkeit in Hochtemperatur- oder Heißgasprozessen als vergleichbare Messgeräte.
Kontaminations- und Korrosionsbeständigkeit
Ein Membransensor bildet das Herzstück des Messgeräts. Er wird durch eine stabile und widerstandsfähige Keramikabschirmung geschützt, die per Atomlagenabscheidung (ALD) aufgetragen wird. Diese Abschirmung schützt den Sensor sowohl vor den hohen Temperaturen der Prozessgase als auch vor möglicher Korrosion. Dies gewährleistet eine höhere Zuverlässigkeit und Genauigkeit sowie eine längere Sensorlebensdauer, selbst unter rauen Plasmabedingungen, da Verunreinigungen minimiert werden. Auch die Sensordrift wird reduziert, sodass eine Kalibrierung seltener erforderlich ist. Dadurch werden die Gesamtbetriebskosten gesenkt.
Filtereinstellung: Druckregelung (p-Regelung)
Die Messgeräte der CenterLine CNR Baureihe sind mit einer speziellen Filtereinstellung, der sogenannten „p-Regelung“ oder Druckregelung, ausgestattet. Diese ist auf Schnelligkeit und Anpassungsfähigkeit ausgelegt, sodass das Messgerät schneller auf Druckänderungen reagieren kann und eine genaue sowie reibungslose Druckregelung bietet. Dieses Merkmal ist besonders effektiv in Kombination mit einem Druckregulierventil.
Verantwortlicher für diese Pressemitteilung:
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
Frau Sandra Thirtle-Höck
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35614 Aßlar
Deutschland
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Über die Busch Group
Die Busch Group ist weltweit einer der größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen, Kompressoren und Abgasreinigungssystemen. Unter ihrem Dach vereint sie die beiden bekannten Marken Busch Vacuum Solutions und Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Die bisher von centrotherm clean solutions – einer ehemaligen Marke der Busch Group – angebotenen Abgasreinigungssysteme sind nun Teil des Pfeiffer Portfolios.
Das umfangreiche Produkt- und Serviceangebot umfasst Lösungen für Vakuum-, Überdruck- und Abgasreinigungsanwendungen in sämtlichen Branchen, wie zum Beispiel Lebensmittel, Halbleiter, Analytik, Chemie und Kunststoff. Dazu gehören auch die Konzeption und der Bau maßgeschneiderter Vakuumsysteme sowie ein weltweites Servicenetz.
Die Busch Group ist ein Familienunternehmen, dessen Leitung in den Händen der Familie Busch liegt. Mehr als 8.000 Mitarbeiter in 44 Ländern weltweit arbeiten für die Gruppe. Der Hauptsitz von Busch befindet sich im baden-württembergischen Maulburg, im Dreiländereck Deutschland – Frankreich – Schweiz.
Die Busch Group produziert in ihren 23 eigenen Werken in China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Indien, Rumänien, der Schweiz, Südkorea, Tschechien, den USA und Vietnam.
Sie hat einen konsolidierten Jahresumsatz von fast 2 Milliarden Euro.
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